檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "李嘉平".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="化學氣相沈積"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本論文主要是研究先以Cu(hfac)2.H2O為先驅物並外加水來沈積氧化亞銅(Cu2O)薄膜之後,再利用乙醇將Cu2O薄膜還原成Cu薄膜的二階段化學氣相沈積成長方式之第二階段乙醇還原的過程。 首先我…
2
本研究以有機金屬化合物(hfac)CuI(COD)為先驅物的化學氣相沈積系統探討金屬銅薄膜的成長動力及其材料分析。我們將探討沈積溫度及銅先驅物分壓對反應速率的影響。經由數據分析,探討反應機構及動力模…